ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-145-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-220-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-270-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-550-15立式化學(xué)氣相沉積爐

一、設(shè)備用途：

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。

二、設(shè)備特點：

1、立式結(jié)構(gòu)，爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。

2、雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。

3、控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。

4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。

5、配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐三、主要技術(shù)參數(shù)：

No.型號工作區(qū)尺寸（?XH）mm高溫度  (℃)真空度   (Pa)壓升率

 (Pa/h)溫度均勻性(℃)功率（KW）

1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060

2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145

3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220

4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275

5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

注：爐膛尺寸可按您的要求定做

HZT-100-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-360-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

一、設(shè)備用途：

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。

二、設(shè)備特點：

1、臥式結(jié)構(gòu)，雙爐門結(jié)構(gòu)，爐門啟閉采用氣動方式。

2、雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。

3、控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。

4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。

5、配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。

三、主要技術(shù)參數(shù)：